XDV-µ

De XDV-μ serie is ontworpen voor nauwkeurige laagdiktemeting en materiaalanalyse op zeer delicate structuren. Alle apparaten zijn uitgerust met polycapillaire optiek die de röntgenstraal bundelen, waardoor meetspots (fwhm) met diameters tussen 10 en 60 μm mogelijk zijn. De hoge intensiteit van de gebundelde straling resulteert in een korte meetduur. Naast de universeel toepasbare XDV-μ zijn er ook gespecialiseerde instrumenten beschikbaar voor de elektronica- en halfgeleiderindustrie. De XDV-μ LD is bijvoorbeeld geoptimaliseerd voor het meten op printplaten, terwijl de XDV-μ Wafer bedoeld is voor gebruik in cleanrooms.

XDV-µ: Voor het testen van de kleinste structuren

Kenmerken

  • Geavanceerde polycapillaire röntgenoptiek die de röntgenstraling op uiterst kleine meetoppervlakken richt
  • Moderne silicium driftdetector (SDD), die zorgt voor een goede detectiegevoeligheid
  • Programmeerbare meettafel met uitbreidbare sample support voor geautomatiseerd testen
  • Gespecialiseerde apparaten voor gespecialiseerde toepassingen, waaronder:
    • XDV-μ LD, met een grote meetafstand (minimaal 12 mm)
    • XDV-μ LEAD FRAME, speciaal geoptimaliseerd voor het meten van leadframe-coatings zoals Au / Pd / Ni / CuFe
    • XDV-μ-wafer, met een geautomatiseerd wafer-opspansysteem

Toepassingen:

Laagdiktemeting

  • Meting op zowel onbestucte als gemonteerde printplaten
  • Analyse van complexe coatingsystemen in het nanometerbereik, b.v. Au / Pd / Ni / CuFe op leadframes
  • Geautomatiseerde kwaliteitsinspectie van wafers met een diameter tot 12 inch
  • Testen van basismetallisatielagen (under-bump metallization, UBM) in het nanometerbereik
  • Voldoet aan DIN EN ISO 3497 en ASTM B568

Materiaalanalyse

  • Analyse van zeer lichte elementen zoals natrium
  • Analyse van loodvrije soldeerkapjes op koperen pilaren
  • Testen van de elementaire samenstelling van C4 en kleinere solderbumbs, evenals kleine contactoppervlakken in de halfgeleiderindustrie

Uw contact met FISCHER

Contact

Helmut Fischer Meettechniek B.V.
Tarasconweg 10
Eindhoven/Nederland
tel.: +31 40 248 22 55
email: info@helmutfischer.nl
online contactformulier